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江苏亚电科技获得一种单片晶圆清洗设备一体化晶圆支撑组织专利削减一套机械结构使设备和调整更快捷
日期：2025-01-25 | 作者: 安博体育官网下载安装
金融界2024年11月23日音讯，国家知识产权局信息数据显现，江苏亚电科技股份有限公司获得一项名为“一种单片晶圆清洗设备一体化晶圆支撑组织”的专利，授权公告号CN 222029064 U，请求日期为2023年12月。
专利摘要显现，本请求触及一种单片晶圆清洗设备一体化晶圆支撑组织，需求将晶圆转入盘面上时，所述支撑柱旋转，使卡紧柱远离盘面的中心，机械手可以将晶圆放入支撑座上，之后，需求卡紧时，所述支撑柱旋转使卡紧柱接近盘面的中心，晶圆的侧边际抵住卡紧柱的内凹面，从而将晶圆卡住固定。本施行例中，将传统的水平顶杆和夹取组织合二为一，削减一套机械结构，使得设备和调整愈加快捷。
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